薄膜厚度是否均勻一致是檢測(cè)薄膜各項(xiàng)性能的基礎(chǔ)，薄膜測(cè)厚儀分為在線和非在線測(cè)量?jī)煞N方式。在線測(cè)量一般選用光學(xué)透過率原理的真空鍍膜在線測(cè)厚儀，非在線測(cè)量一般選用體積小巧的涂層測(cè)厚儀。